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硅料回收:半导体硅料回收中不解什么是半导体硅材料
作者: 来源: 日期:2018-8-24 11:07:22 人气:3414
硅料回收中半导体硅资料(semiconductor silicon)是最主要的元素半导体资料,包含硅多晶、硅单晶、硅片、硅外延片、非晶硅薄膜等,可直接或间接用于制备半导体器材。
硅为周期表中Ⅳ族元素。在地壳中主要以二氧化硅和硅酸盐形式存在。丰度为27.7%,仅次于氧。硅的原子量为28.05,25℃下密度为2.329g/cm3,具有灰色金属光泽,较脆,硬度6.5Mohs,稍低于石英。熔点1410℃,在熔点时体积缩短率9.5%。常温下硅外表掩盖一层极薄氧化层,化学性质不生动。高温下与氧反响生成无定形二氧化硅层,在器材工艺中常用半作掩蔽层和隔离层。硅不溶于酸,但溶于HNO3。和HF的混合溶液中,常用这种溶液作腐蚀液。硅稍溶于加温的碱溶液中,还可选用等离子腐蚀技能来腐蚀硅。 硅有结晶态和非晶。常温下硅单晶介电系数11.7,对光具有高的折射率(n=3.42),反射丢失较大,涂以恰当减反射膜可大大提高透过率。硅中的杂质会引起光的吸收,氧和碳的吸收带在室温下别离坐落1107和607cm-1处。结晶态硅资料的制备办法通常是先将硅石(SiO2)在电炉中高温还原为冶金级硅(纯度95%~99%),然后将其变为硅的卤化物或氢化物,经提纯,以制备纯度很高的硅多晶。包含硅多晶的西门子法制备、硅多晶的硅烷法制备。在制造大多数半导体器材时,用的硅料回收不是硅多晶,而是高完整性的硅单晶。通常用直拉法或区熔法由硅多晶制得硅单晶。
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